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IPH半導體中度嚴苛系列

用途:

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特點:


IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴苛制程。

它優(yōu)良的性能源自于轉子排氣路徑和優(yōu)越的轉子型線設計。

漢鐘獨特型線設計,上海,臺灣,制造。

較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。

帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。

優(yōu)化的尺寸,即插即用。


規(guī)格型號
產(chǎn)品樣本和技術手冊

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產(chǎn)品樣本和技術手冊

產(chǎn)品外觀圖

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